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2626 次 PECVD原理及應用 2023-7-7
PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition）是等離子增強化學氣相淀積，該技術是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上（即樣品放置的托盤）產生輝光放電，利用輝光放電（或

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