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1517 次 Attolight CL-SEM系統在光電失效分析方面的應用 2022-8-18
氮化鎵(GaN)是一種廣泛應用于發光二極管(led)等光電器件的材料。LED結構主要是通過外延生長在藍寶石襯底上，但由于成本原因，硅成為藍寶石的代替者。然而，硅和氮化物之間巨大的不配合和熱膨

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